靶材的制作方法都有哪些？

发布时间：2023-07-24 12:01:52 丨 浏览次数：

　　靶材是电子信息行业中常用的一种材料。尽管它有着广泛的用途，但公众对这种材料的理解并不深刻。很多人都很好奇靶材的制造方法是什么?它是如何分类的?下面小编将介绍靶材的制造方法和分类使用。

　　靶材的制造方法有几下几种方法

　　1、铸造法

　　铸造方法是将一定比例的合金材料熔化，然后将熔化的合金溶液倒入模具中，形成铸锭。加工后形成目标材料。铸造方法通常需要在真空中熔化和铸造。常用的铸造方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼。其优点是所生产的靶材杂质含量低，密度高，可大规模生产;缺点是当熔点和密度有显著差异的两种或两种以上金属熔化时，使用常规的熔化方法很难产生成分均匀的合金靶材。

　　2、粉末冶金法

　　粉末冶金是将合金材料按一定的组成比例熔化，然后将熔化的合金溶液铸造成铸锭的工艺。将钢锭损坏，将损坏的粉末静态成型，然后在高温下烧结，形成目标材料。用这种方法制造的靶材的优点是其成分均匀;缺陷密度低，杂质含量高。常见的粉末冶金行业有冷压、真空热压和热等静压。